PECVD-Verfahren

URI	https://d-nb.info/gnd/4267316-1
Entitätstyp	Schlagwort sensu stricto
GND-Nummer	4267316-1
GND-Sachgruppe	Verfahrenstechnik, Technische Chemie \| Elektronik, Nachrichtentechnik \| Fertigungstechnik
Oberbegriff allgemein	CVD-Verfahren \| Plasmaabscheidung
Gleichwertig	http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh90002917 \| https://data.bnf.fr/ark:/12148/cb12430845x
In Beziehung stehende Dewey-Dezimalklassifikation mit Determiniertheitsgrad 2	http://dewey.info/class/671.735/
Varianter Name	Plasmaaktiviertes CVD-Verfahren \| Plasma Enhanced CVD-Verfahren \| PACVD-Verfahren
Siehe auch	Deutsche Nationalbibliothek (DNB)

Datenquelle: DNB Linked-Data-Service (RDF/XML, Turtle) | CC0

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