Lithografie <Halbleitertechnologie> Schlagwort sensu stricto Schlagwort
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URI https://d-nb.info/gnd/4191584-7
EntitätstypSchlagwort sensu stricto
GND-Nummer4191584-7
GND-SachgruppeElektronik, Nachrichtentechnik 
Verwandter BegriffLithografieoptik 
Gleichwertighttps://data.bnf.fr/ark:/12148/cb121517584  | http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85084858 
In Beziehung stehende Dewey-Dezimalklassifikation mit Determiniertheitsgrad 2http://dewey.info/class/621.381531/  | http://dewey.info/class/621.38152/ 
BenutzungshinweiseFür die Strukturierung aller Arten von Oberflächen (nicht nur von Halbleitern) mittels gebündelter Strahlen.
Varianter NameMicrolithography | Mikrolithographie | Mikrolithografie | Halbleiter / Lithografie | Lithographie |
Siehe auchDeutsche Nationalbibliothek (DNB) Deutsche Nationalbibliothek (DNB)

Datenquelle: DNB Linked-Data-Service (RDF/XML, Turtle) | CC0

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