URI | https://d-nb.info/gnd/1236384466 |
Entitätstyp | Individualisierte Person |
GND-Nummer | 1236384466 |
Affiliation | Eberhard Karls Universität Tübingen |
Ländercode | Deutschland |
Geschlecht | Unbekannt |
Geburtsdatum | 1959 |
Geburtsort | Reutlingen |
Studienfach | Physik |
Titelangabe | Ein Bandstrahl-Beleuchtungssystem für die Vielstrahl-Elektronen-Lithographie mit Kammsonde | Entwicklung einer direkt geheizten Wolfram-Linear-Elektronenquelle |
Siehe auch |