URI https://d-nb.info/gnd/1236384466
EntitätstypIndividualisierte Person
GND-Nummer1236384466
AffiliationEberhard Karls Universität Tübingen 
LändercodeDeutschland 
GeschlechtUnbekannt 
Geburtsdatum1959
GeburtsortReutlingen 
StudienfachPhysik 
TitelangabeEin Bandstrahl-Beleuchtungssystem für die Vielstrahl-Elektronen-Lithographie mit Kammsonde | Entwicklung einer direkt geheizten Wolfram-Linear-Elektronenquelle
Siehe auchDeutsche Nationalbibliothek (DNB) Deutsche Nationalbibliothek (DNB) | Virtual International Authority File (VIAF) Virtual International Authority File (VIAF)

Datenquelle: DNB Linked-Data-Service (RDF/XML, Turtle) | CC0

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